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APK6100E半導(dǎo)體行業(yè)超高純(特種)氣體稀釋系統(tǒng)，是一款具有高精度高稀釋比的升級(jí)產(chǎn)品，可稀釋2到15種不同氣體，稀釋比可達(dá)到1:10000，二級(jí)稀釋，高精度，帶有加濕功能，可用于傳感器生產(chǎn)商，半導(dǎo)體生產(chǎn)商的產(chǎn)品測(cè)試及科研院所的科學(xué)研究?？筛鶕?jù)用戶要求定制。

特點(diǎn)：

苯系物BTEX，PAMS，硫化物，TO-15，HCHO，SO2，N2O，NO2以及其他;

帶有加濕功能，可控制稀釋后氣體濕度

高精度質(zhì)量流量計(jì)（MFC），配制氣體濃度精準(zhǔn)

可選配液體標(biāo)樣稀釋模塊

功能：

1、單一/混合氣體配制

通過(guò)質(zhì)量流量控制器（MFC）順序連接兩種或多種標(biāo)準(zhǔn)氣體，如順序稀釋或產(chǎn)生混合氣體。可以單獨(dú)稀釋多種標(biāo)準(zhǔn)氣體，也可以通過(guò)同時(shí)稀釋多種的標(biāo)準(zhǔn)氣體來(lái)產(chǎn)生混合氣體。

2、蘇瑪罐罐沖

該系統(tǒng)配備了壓力傳感器，以精確的壓力將稀釋氣體引入罐中。

3、控制溫度和濕度

自動(dòng)調(diào)節(jié)溫度和濕度，在各種條件下連續(xù)產(chǎn)生氣體。

4、液體標(biāo)樣氣化稀釋

可選配液體標(biāo)樣稀釋模塊

5、顆粒物發(fā)生裝置

可選配顆粒物發(fā)生裝置，模擬各種工況

以上功能均可根據(jù)客戶實(shí)際需求組合定制。

應(yīng)用：

傳感器生產(chǎn)商

半導(dǎo)體生產(chǎn)商